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中电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台顺利验收

宣布时间:2020/12/31 11:58:36 来源:凯时尊龙官网建工点击率:

2020年12月30日,由凯时尊龙官网建工承建的中电科集成电路成套装备国产化集成及验证平台(以下简称验证平台)顺利通过五方责任主体验收,为公司今年的项目收官画上了圆满的句号,该验证平台立足高新,将创立高新。

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中电科项目位于高新区麓延路西路北侧、雷高路东侧,总建筑面积12.7万平方米,总投资25亿元,该项目是海内第一条集成电路装备验证工艺线,其建成将有效推进高新区集成电路工业的快速生长,增进该领域要害焦点技术自主可控生长。

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2019年4月,该项目验证平台正式启动建设,在集团上下统筹调理下,凯时尊龙官网建工迅速铺排行动,精心组织实施,不到半年,保质保量完成主体结构封顶。今年4月实现了首台国产设备移入 ;11月,集成电路成套装备开始联调联试,目前试验生产的晶圆良率已达90%。

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验证平台在施工历程中,通过接纳多项新技术、新质料、新工艺等,克服了众多技术难点并实现了降本增效。如:华夫板施工层模板支架大胆接纳了成熟的轮扣式支架系统,模板主次楞骨改用镀锌矩管,通过对U型顶托的重复调解,使华夫板施工效果抵达了平整度不大于3mm的要求,节约了专用型钢100余吨。

凯时尊龙官网建工将不绝总结技术立异和组织协同经验,以立异求突破,为今后的生长提供有力支撑。


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